Установка вакуумного нанесения диэлектрических и электропроводящих покрытий

Позволяет получать диэлектрические, электропроводящие и композитные покрытия толщиной 1 – 100 нм на различных подложках методом магнетронного напыления.
Характеристики
Габаритные размеры напылительной установки 79 (Ш) х 80 (Г) х 86 (В) см.
Требования для инсталляции напылительной установки: 220 В, 50 Гц, 10 А
Мощность: не более 5 кВт
Среда: Аргон
Подача воды: 5 л/мин на один катод, 16-24ºC
Вентилирование системы (рекомендуется) сухой азот
Тип напыляемого покрытия : диэлектрики, проводники
Толщина покрытия: 1-100 нм